課號  :522 U4170
類別  :選修
名稱  :微系統導論
英文名稱: Introduction to Microsystems
學分  :
適修年級: 大三以上
課程大綱:
  1. Introduction
  2. Basic Principles
    a. Mechanical properties
    b. Electrical properties
    c. Sensing principles
    d. Actuating principles
  3. Fabrication Technology
    a. I.C. technology
    b. LIGA technology
    c. Other micromaching technology
  4. Applications
    a. Microsensors
    b. Microactuators
    c. Microsystems
預修課程 : 物理、材料力學
授課老師 : 周元昉
課程說明 :
評分考試 :
注意事項 :


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