課號 ：
522 U0460
類別 ：
選修
名稱 ：
微機械力學
英文名稱：
學分 ：
３
適修年級：
大三、大四、研究所
上課地點：
工綜B01 星期三 2:00-5:00pm
教科書：
陳炳煇
"微機電系統”（付印中）
參考書：
課程大綱：
簡介
矽基製程
LIGA製程
微力學
微機電系統之實例－微流量計之設計與製程規劃
預修課程：
授課老師：
陳炳煇
課程說明：
評分考試：
作業與報告
(50%)
期末考
(50%)
注意事項：
講義下載：
氧化與薄膜沈積
，
準分子雷射
，
卸下講義
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